遠(yuǎn)程等離子體源 8L

財(cái)盈遠(yuǎn)程等離子體源（RPS）獨(dú)特的腔體設(shè)計(jì)和超長(zhǎng)使用壽命，是真空腔體清潔的理想之選。

主要用于清潔CVD、PECVD腔體及半導(dǎo)體廠芯片制造和液晶面板的生產(chǎn)制造。

2024-08-13

財(cái)盈國產(chǎn)替代產(chǎn)品 —— 遠(yuǎn)程等離子體源 RPS 8L

產(chǎn)品特點(diǎn)

· 8 slm NF 流量，清潔時(shí)間更快

· 解離 >95%，清潔效果更高效

· 獨(dú)特的發(fā)生腔體設(shè)計(jì)，壽命更長(zhǎng)

· 體積小，集成度高，靈活配置

替代產(chǎn)品

MKS Paragon AX7710 8L其他 8L 同規(guī)格產(chǎn)品

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